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国内首台自主知识产权光刻机将在合肥面世
国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机即将在合肥面世,标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破GZ电磁震动给料机。锤式碎石机煤炭破碎机
记者从位于合肥市经济开发区的芯硕半导体(合肥)有限公司了解到,该公司生产的两台直写式光刻机样机已进入最后的总装调试阶段,12月底将面世。据介绍,与目前国际上同类产品相比,其生产的直写式光刻机分辨率达到亚微米级,且产能较高,达到了世界输送带领先输送机水平DSJ可伸缩带式输送机。
据悉,光刻机是半导体设备里最关键的设备之输送机链一,每一代半导体技术的发展都是以光刻线宽为代表。但目前在中国,生产用光刻机完全依赖进口,国产品牌的亚微米提升机械级光刻机还是空白。芯硕半导体公司生产的直写式光大倾角波状挡边输送机刻机具有中国自主知识产权,将为中国光刻机技术的发展奠定坚实基础。
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