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“二自由度笛卡尔坐标高速高精度定位系统”研制完成
据报道863计划先进制造与自破碎机械动化领域支持的“面向MEMS加工的精密定位技术的研究”进展顺利，已经完成了二自由度笛卡尔坐标高速高精度定位系统研制链条输送机工作斗式输送机。
本课题在研究过程中，发展了一种由直线音圈电机直接驱动的2自由度笛卡尔坐标型用于IC芯片封装的高速高精度定位装置。其结构特点采用直线音圈电机直接驱动X、Y工作台，省去了传动粉料机环节，而且音圈电机具有无滞后、高响应、高速度及高加速度、控制方便等特点，有效地提高了该定位装置的性能。通过采用无间标准振动筛隙新型解耦结构，不仅使机构具有传统XY工作台运动学解耦的特点，而且可将驱动部件置于底座上，降低了机构的运动惯量。采用直线光栅作为末端位置反馈，链条输送可以较好地保证系统的高速高精度。
本研究成果除用于面向MEMS微连接和组装装备的开发外，相关的单元技术在其它领域中，如IC封装、精密电子设备装配流水线、生物芯片制备、大范围高速扫描装置中均有广泛的应用前景。面向不同的应用领域，通过单元技术集成，可开发出不同的应用系颚式破碎高频振动旋流筛统移动式带式输送机。
jzo振动电机TZSM系列煤粉筛给煤机;
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